Diamanta drato-tranĉa teknologio ankaŭ estas konata kiel firmiĝo abrasiva tranĉa teknologio.Ĝi estas la uzo de electroplating aŭ rezino kunliga metodo de diamanta abrasivo solidigita sur la surfaco de ŝtalo drato, diamanta drato rekte agante sur la surfaco de silicio vergo aŭ silicio ingoto por produkti muelado, por atingi la efikon de tranĉado.Diamanta drato tranĉado havas la karakterizaĵojn de rapida tranĉa rapido, alta tranĉa precizeco kaj malalta materiala perdo.
Nuntempe, la unukristala merkato por diamanta drato tranĉanta silicio-oblato estis plene akceptita, sed ĝi ankaŭ renkontis en la procezo de promocio, inter kiuj velura blanka estas la plej ofta problemo.Konsiderante ĉi tio, ĉi tiu papero temigas kiel malhelpi diamantan drato tranĉante monokristalino silicio oblato velura blanka problemo.
La purigadprocezo de diamanta drato tranĉanta monokristalan silician oblaton estas forigi la silician oblaton tranĉitan per la dratsegilo maŝinilo de la rezina plato, forigi la kaŭĉukan strion kaj purigi la silician oblaton.La purigadmaŝino estas ĉefe antaŭpuriga maŝino (degumming-maŝino) kaj purigadmaŝino.La ĉefa purigada procezo de la antaŭpuriga maŝino estas: nutrado-spray-spray-ultrasona purigado-degumming-pura akvo rinsing-subfeeding.La ĉefa purigadprocezo de la purigadmaŝino estas: nutrado-pura akvo rinsing-pura akvo rinsing-alkala lavado-alkala lavado-pura akvo rinsing-pura akvo rinsing-antaŭ dehidratiĝo (malrapida levado) -sekigado-nutrado.
La principo de unu-kristala velura farado
Monokristala silicioblato estas la karakterizaĵo de anizotropa korodo de monokristala silicioblato.La reakcia principo estas la sekva kemia reakcia ekvacio:
Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑
En esenco, la suede formado procezo estas: NaOH solvo por malsama korodo indico de malsama kristala surfaco, (100) surfaca korodo rapido ol (111), do (100) al la monokristalino silicio oblato post anizotropa korodo, eventuale formita sur la surfaco por (111) kvarflanka konuso, nome "piramida" strukturo (kiel montrite en figuro 1).Post kiam la strukturo estas formita, kiam la lumo okazas al la piramida deklivo je certa Angulo, la lumo reflektos la deklivon laŭ alia Angulo, formante sekundaran aŭ plian sorbadon, tiel reduktante la reflektivecon sur la surfaco de la silicia oblato. , tio estas, la lumkaptila efiko (vidu Figuro 2).Ju pli bone estas la grandeco kaj unuformeco de la "piramida" strukturo, des pli evidenta estas la kaptila efiko, kaj des pli malalta la surfaca emisio de la silicioblato.
Figuro 1: Mikromorfologio de monokristala silicioblato post alkala produktado
Figuro 2: La lumkaptila principo de la "piramida" strukturo
Analizo de unukristala blankigado
Skanante elektronmikroskopon sur la blanka silicioblato, oni trovis, ke la piramida mikrostrukturo de la blanka oblato en la areo esence ne estis formita, kaj la surfaco ŝajnis havi tavolon de "vaksa" restaĵo, dum la piramida strukturo de la suedo. en la blanka areo de la sama silicio oblato estis formita pli bone (vidu Figuro 3).Se estas restaĵoj sur la surfaco de monokristalina silicio oblato, la surfaco havos restan areon "piramida" strukturo grandeco kaj unuformeco generacio kaj efiko de la normala areo estas nesufiĉa, rezultante en resta velura surfaco reflektiveco estas pli alta ol la normala areo, la areo kun alta reflektiveco kompare kun la normala areo en la vida reflektita kiel blanka.Kiel videblas el la distribua formo de la blanka areo, ĝi ne estas regula aŭ regula formo en granda areo, sed nur en lokaj areoj.Devus esti, ke la lokaj malpurigaĵoj sur la surfaco de la silicia oblato ne estis purigitaj, aŭ la surfaca situacio de la silicia oblato estas kaŭzita de malĉefa poluado.
Figuro 3: Komparo de regionaj mikrostrukturdiferencoj en veluraj blankaj silicioblatoj
La surfaco de la diamanta drato tranĉanta silicioblaton estas pli glata kaj la damaĝo estas pli malgranda (kiel montrite en Figuro 4).Kompare kun la pistujo silicia oblato, la reakcia rapideco de la alkala kaj la diamanta drato tranĉanta silician oblan surfacon estas pli malrapida ol tiu de la pistujo tranĉanta monokristalan silician oblaton, do la influo de surfacaj restaĵoj sur la velura efiko estas pli evidenta.
Figuro 4: (A) Surfaca mikrografo de pistujo tranĉita silicioblato (B) surfaca mikrografo de diamanta drato tranĉita silicioblato
La ĉefa resta fonto de diamanta drattranĉita silicia oblasurfaco
(1) Fridigaĵo: la ĉefaj komponantoj de diamanta drato-tranĉa fridaĵo estas surfaktant, dispersant, kalumnia kaj akvo kaj aliaj komponantoj.La tranĉa likvaĵo kun bonega rendimento havas bonan suspendon, disperson kaj facilan purigan kapablon.Surfaktantoj kutime havas pli bonajn hidrofilajn trajtojn, kiuj estas facile purigeblaj en la silicia oblata purigadprocezo.La kontinua movo kaj cirkulado de ĉi tiuj aldonaĵoj en la akvo produktos grandan nombron da ŝaŭmo, rezultigante la malpliiĝon de la malvarmiga fluo, influante la malvarmigan agadon, kaj la seriozajn problemojn pri ŝaŭmo kaj eĉ ŝaŭmo-superfluo, kio serioze influos la uzon.Tial, la fridigaĵo estas kutime uzata kun la senŝaŭma agento.Por certigi la senŝaŭman agadon, la tradicia silikono kaj polietero estas kutime malriĉaj hidrofilaj.La solvilo en akvo estas tre facile adsorbebla kaj restas sur la surfaco de la silicia oblato en la posta purigado, rezultigante la problemon de blanka makulo.Kaj ne bone kongruas kun la ĉefaj komponantoj de la fridigaĵo, Tial ĝi devas esti farita en du komponentojn, Ĉefaj komponantoj kaj senŝaŭmaj agentoj estis aldonitaj en akvo, En la procezo de uzo, laŭ la ŝaŭma situacio, Ne eblas kvante kontroli la uzo kaj dozo de kontraŭŝaŭmaj agentoj, Povas facile permesi superdozon de anoaming agentoj, Kvidante al pliigo de la siliciaj oblaj surfacaj restaĵoj, Estas ankaŭ pli maloportune funkcii, Tamen, pro la malalta prezo de krudaj materialoj kaj senŝaŭma agento kruda materialoj, Sekve, plejparto de la hejma fridigaĵo ĉiuj uzas ĉi tiun formulan sistemon;Alia fridigaĵo uzas novan senŝaŭman agenton, Povas esti bone kongrua kun la ĉefaj komponantoj, Neniuj aldonoj, Povas efike kaj kvante kontroli ĝian kvanton, Povas efike malhelpi troan uzon, La ekzercoj ankaŭ estas tre oportune fari, Kun la taŭga purigado, Ĝia restaĵoj povas esti kontrolitaj al tre malaltaj niveloj, En Japanio kaj kelkaj hejmaj fabrikistoj adoptas ĉi tiun formulan sistemon, Tamen, pro ĝia alta kosto de krudmaterialo, Ĝia preza avantaĝo ne estas evidenta.
(2) Glua kaj rezina versio: en la posta etapo de la diamantdrata tranĉa procezo, La silicia oblato proksime de la envenanta fino estis tranĉita anticipe, La silicia oblato ĉe la elirejo ankoraŭ ne estas tranĉita, La frua tranĉita diamanto drato komencis tranĉi al la kaŭĉuka tavolo kaj rezina telero, Ĉar la silicia bastongluo kaj la rezina tabulo estas ambaŭ epoksirezinaj produktoj, Ĝia moliga punkto estas esence inter 55 kaj 95℃, Se la moliga punkto de la kaŭĉuka tavolo aŭ la rezino. telero estas malalta, ĝi povas facile varmiĝi dum la tranĉa procezo kaj kaŭzi ĝin mola kaj fandi, Alkroĉita al la ŝtala drato kaj la silicia oblasurfaco, Kaŭzi la tranĉkapablon de la diamanta linio malpliiĝis, Aŭ la siliciaj oblatoj estas ricevitaj kaj makulita per rezino, Unufoje alfiksita, estas tre malfacile forlavi, Tia poluado plejparte okazas proksime de la rando de la silicia oblato.
(3) silicia pulvoro: en la procezo de diamanta drato tranĉado produktos multe da silicia pulvoro, kun la tranĉado, pistujo fridiga pulvoro enhavo estos pli kaj pli alta, kiam la pulvoro estas sufiĉe granda, aliĝos al la silicia surfaco, kaj diamanta drato tranĉado de silicia pulvoro grandeco kaj grandeco kondukas al ĝia pli facila al adsorbado sur la silicia surfaco, malfaciligas purigi.Tial certigu la ĝisdatigon kaj kvaliton de la fridigaĵo kaj reduktu la pulvorenhavon en la fridigaĵo.
(4) purigado agento: la nuna uzo de diamanta drato tranĉanta fabrikistoj plejparte uzante pistujo tranĉado samtempe, plejparte uzas pistujo tranĉado antaŭlavado, purigado procezo kaj purigado agento, ktp, ununura diamanta drato tranĉado teknologio de la tranĉa mekanismo, formas a. kompleta aro de linio, fridigaĵo kaj pistujo kortego havas grandan diferencon, do la responda purigado procezo, purigado agento dozo, formulo, ktp devus esti por diamanta drato kortego fari la respondan alĝustigo.Purigado agento estas grava aspekto, la originala pureca agento formulo surfactant, alkalinidad ne taŭgas por purigado de diamanta drato tranĉanta silicio oblato, devus esti por la surfaco de diamanta drato silicio oblato, la komponado kaj surfacaj restaĵoj de celita purigado agento, kaj preni kun la procezo de purigado.Kiel menciite supre, la komponado de senŝaŭma agento ne estas bezonata en pistujo tranĉado.
(5) Akvo: diamanta drato tranĉado, antaŭlavado kaj purigado de superflua akvo enhavas malpuraĵojn, ĝi povas esti adsorbita al la surfaco de la silicia oblato.
Redukti la problemon fari velurajn harojn blankaj aperu sugestoj
(1) Por uzi la fridigaĵon kun bona disvastigo, kaj la fridigaĵo estas postulata por uzi la malalt-restaĵan senŝaŭman agenton por redukti la restaĵon de la malvarmigaj komponantoj sur la surfaco de la silicia oblato;
(2) Uzu taŭgan gluon kaj rezinan teleron por redukti la poluon de silicia oblato;
(3) La fridigaĵo estas diluita per pura akvo por certigi, ke ne estas facilaj restaj malpuraĵoj en la uzata akvo;
(4) Por la surfaco de diamanta drato tranĉita silicio-oblato, uzu aktivecon kaj purigan efikon pli taŭgan purigan agenton;
(5) Uzu la diamantan linion de fridiga interreta reakira sistemo por redukti la enhavon de silicia pulvoro en la tranĉa procezo, por efike kontroli la restaĵon de silicia pulvoro sur la silicia obla surfaco de la oblato.Samtempe, ĝi ankaŭ povas pliigi la plibonigon de akvotemperaturo, fluo kaj tempo en la antaŭlavado, por certigi, ke la silicia pulvoro estas lavita ĝustatempe.
(6) Post kiam la silicia oblato estas metita sur la purigan tablon, ĝi devas esti traktita tuj, kaj konservi la silician oblaton malseka dum la tuta purigado.
(7) La silicia oblato tenas la surfacon malseka en la procezo de degumado, kaj ne povas sekiĝi nature.(8) En la purigado de la silicia oblato, la tempo elmontrita en la aero povas esti reduktita laŭeble por malhelpi la florproduktadon sur la surfaco de la silicia oblato.
(9) Puriga personaro ne rekte kontaktu la surfacon de la silicia oblato dum la tuta purigada procezo, kaj devas porti kaŭĉukajn gantojn, por ne produkti fingrospuron.
(10) En referenco [2], la kuirilaro-fino uzas hidrogenan peroksidon H2O2 + alkalan NaOH-purigan procezon laŭ la volumena proporcio de 1:26 (3%NaOH-solvo), kiu povas efike redukti la aperon de la problemo.Ĝia principo estas simila al la SC1-purigadsolvo (ofte konata kiel likvaĵo 1) de duonkonduktaĵa silicioblato.Ĝia ĉefa mekanismo: la oksigena filmo sur la silicia obla surfaco estas formita de la oksigenado de H2O2, kiu estas korodita de NaOH, kaj la oksigenado kaj korodo okazas ree.Tial, la eroj alfiksitaj al la silicia pulvoro, rezino, metalo, ktp.) ankaŭ falas en la purigan likvaĵon kun la koroda tavolo;pro la oksigenado de H2O2, la organika materio sur la oblasurfaco estas malkomponita en CO2, H2O kaj forigita.Ĉi tiu procezo de purigado estis silicio oblato fabrikistoj uzante ĉi tiun procezon por prilabori la purigado de diamanto drato tranĉanta monocristalino silicio oblato, silicio oblato en la hejma kaj Tajvano kaj aliaj kuirilaro fabrikantoj batch uzo de velura blanka problemo plendoj.Estas ankaŭ kuirilaroj fabrikistoj uzis similan velura antaŭ-purigada procezo, ankaŭ efike kontroli la aspekton de velura blanka.Videblas, ke ĉi tiu purigadprocezo estas aldonita en la silicia oblata purigado por forigi la silician oblan restaĵon por efike solvi la problemon de blankaj haroj ĉe la kuirilaro.
konkludo
Nuntempe, diamanta dratotranĉado fariĝis la ĉefa pretiga teknologio en la kampo de unukristala tranĉado, sed en la procezo de promocio de la problemo de veluro blanka ĝenis silician oblaton kaj kuirilarojn fabrikistojn, kondukante al kuirilaroj fabrikistoj al diamantdrato tranĉanta silicio. olato havas iom da rezisto.Tra la kompara analizo de la blanka areo, ĝi estas ĉefe kaŭzita de la restaĵo sur la surfaco de la silicioblato.Por pli bone malhelpi la problemon de silicia oblato en la ĉelo, ĉi tiu artikolo analizas la eblajn fontojn de surfaca poluado de silicia oblato, same kiel la plibonigajn sugestojn kaj mezurojn en produktado.Laŭ la nombro, regiono kaj formo de blankaj makuloj, la kaŭzoj povas esti analizitaj kaj plibonigitaj.Precipe rekomendas uzi hidrogenan peroksidon + alkalan purigadon.La sukcesa sperto pruvis, ke ĝi povas efike malhelpi la problemon de diamanta drato tranĉanta silician oblaton farantan veluran blankigon, por la referenco de la ĝeneralaj industriuloj kaj fabrikantoj.
Afiŝtempo: majo-30-2024